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合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特種氣體廠家直銷，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。

特種氣體 (Specialty gases) ：指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的， 對(duì)氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多， 通常可區(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等，特種氣體供應(yīng)商， 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。

電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來(lái)源于：1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過(guò)程中引入的微量金屬雜質(zhì)；2) 氣體運(yùn)輸和儲(chǔ)存過(guò)程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì)；3) 使用過(guò)程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過(guò)分離進(jìn)行排除，才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而，電子氣特種氣體，目前一般的過(guò)濾器的孔徑1小為0.2 μm，無(wú)法完全消除金屬雜質(zhì)。因此，建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測(cè)方法，對(duì)高純氣體的生產(chǎn)、儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

我國(guó)特種氣體生產(chǎn)技術(shù)與國(guó)外的差距

論述了工業(yè)用標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、非晶硅太陽(yáng)電池制造用電子氣，MOCVD的源材料—金屬有機(jī)化合物，邯鄲特種氣體，以及電子氣配套器件國(guó)內(nèi)科研、生產(chǎn)和制造的技術(shù)水平及其與國(guó)外的差距，指出配套器件技術(shù)水平與國(guó)外的差距比特種氣體技術(shù)水平與國(guó)外的差距還要大，僅約相當(dāng)于國(guó)外70年代中末期水平，而標(biāo)準(zhǔn)氣約相當(dāng)于國(guó)外80年代初中期水平，電子氣則相當(dāng)于國(guó)外80年代初期水平。特氣生產(chǎn)技術(shù)關(guān)鍵是氣體純化技術(shù)及高純或瞄蝕性氣體包裝技術(shù)等。為加速電子氣國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，提出了6項(xiàng)政策性措施。

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